该厂为8屏幕尺寸晶圆分娩线生活配套的超净水装置,每星期存在含硅生活污水150吨。生活污水里面的虽无高价属,但硅含氧量高易积垢,且内阻率需高达18MΩ·cm就能够使用。同一解决生产工艺时未够满足新废止的《网上工农业水危害物尾气排放标准规格》(GB39731-2020)相当尾气排放标准最大限度。
电镀废水部分显著特点
重点破坏物
:溶液硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(粒度0.1-1μm)
特异需要
:TOC<10μg/L,硼的含量<5μg/L
水体质量基本特征
:低纯水电导率(<50μS/cm)但硅有机物性状有难度
治理 鑫霖环保工作流程
的创新用于"梯级膜分离法+电去铝离子"组和技艺:
微滤预处里
:1μm陶瓷厂家膜过滤大颗粒物硅,通量保护80LMH
亚铁离子对换硅橡胶
:D201大孔硅橡胶目的性吸附性硅酸氧分子
二级考试RO系统软件
:最段的回收利用率60%,其次段选择高脱硼膜开关元件
EDI电去铝离子
:电流量体积密度2A/m²,坚持除掉残存阳离子
分光光度计消毒
:254nm红外光谱线残留量40mJ/cm²
技艺工作亮点
开发建设常用阻硅剂(可挥发胺类复合型物),延迟膜造成的污染时间间隔3倍
EDI方案研发流道设计制作,硅出掉率提升自己至99.8%
在线平台硅具体分析仪器(检测位置0.1-500μg/L)确保优质控住
作业功效
经第三点方检则:
总硅从280mg/L高于0.05mg/L
硼含量的从8μg/L低于0.3μg/L
控制系统回收并率从原40%增强至68%
膜换生长期延长时间至5年,年加载成本预算调低35%