东莞某半导体行业心片制作厂，晶圆制作的过程 中会产生含硅、氟的特殊化废水办理最简单的方法处里最简单的方法，设定处里的规模1200吨/日。废水办理最简单的方法处里最简单的方法成分表繁复，含有納米级硅颗粒肥料及氢氧化钠，传统型处里最简单的方法根本无法合格。 废液的成分及起源 关键水污物 ：氢氧化铁硅（100-500nm颗粒直径）、氟铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 来历制作工艺 ：晶圆刻蚀废液处理工艺（45%）、CMP检查是否机戒拋光废液处理工艺（40%）、设配冲洗器水（15%） 除理加工施工工艺 科学创新主要采用"电学悠长岁月中+特别膜溶合"的技术路经： 钙盐沉定 ：加药氯化钙祛除氟铁离子（绘制CaF2沉淀物中） 二沉池反馈 ：和好斜板沉淀池剂完成溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm钻孔大小膜截流微细小粒 反侵入系統 ：脱盐率>98%，收购率75% 化掉凝结 ：浓水段满足氟化物污水处理技术物 最终能够作用 氟化物氨水浓度：<8mg/L（大于地区两级标准规范10mg/L） 硅分子量：<5mg/L 水影视资源使用率：70%使用于加热塔皮肤补水 危险废弃物减轻：蒸馏杂质量较中国传统艺减轻60%